第259章 突破14nm光刻机工艺

术圈的地位比周东林还牛掰。

    “呵呵，也许吧。”陈序说着坐起来点了一根烟，“超精密工件台的实验怎么样了？”

    “不怎么理想，目前实验最多只能到5nm，距离要求的2nm还有一定的差距，德国跟日苯那边……”

    陈序听了一会，然后一把把香烟摁灭，起身道：“走，带我过去看看。”

    光刻机和别的设备不一样，它里面大部分零部件都需要专门定制。

    什么意思呢，就是你想在市场上买配件来组装都不可能。

    而越高端定制的比例也越高，到了10nm这个级别，里面90%以上都是定制的。

    且不是你想定制就能定制的，得看上游厂商愿不愿意接你的订单。

    他之前花高价从荷兰买配件，就是因为那些配件如果全部自己生产的话，先不说短时间能不能生产出来，就算能做出来，价格也要贵上十倍都不止！

    不过以后不行了，欧美日韩对星海进行了全面的技术封锁，荷兰那边已经pass掉XHZZ的订单申请。

    不仅仅是荷兰，德国跟日苯那边的零部件订单也毁约了，导致最关键的超精密工件台一直不能达到满意要求。

    来到实验室，陈序控制机器人调校超精密工件台，而小白则根据电脑上的反馈结果重新编写控制程序。

    一遍、两遍、十遍……

    这一做就是十二小时，饿的实在撑不住了才出去吃一点，然后继续全身心的投入到实验中来。

    超精密机械的调校是非常耗费时间精力的，像米国Cymer、德国蔡司的工程师对每一个部件的调校次数都有可能高达十年以上。

    当然，陈序不可能像那些工程师一样，花费十年去调校一个零部件，也不需要。

    小白会帮他省去百分之九十九的步骤。

    半个月后，经过陈序废寝忘食的工作，把超精密工件台的精度调校到了3nm。

    这是一个具有里程碑纪念意义的时刻！

    因为3nm的超精密工件台已经满足了14nm光刻机的制备工艺要求。

    从这一刻起，中国算是全面掌握了14nm光刻机的制造技术。

    上百名工程师全部围了过来，看着模拟机上的超精密工件台高速运行着，很多人眼睛里泛起了泪花。

    偌大的实验室里响起了热烈的掌声。

    “啪啪啪……”

    多少年了，中国一直嚷着制造“中国芯”，但是因为造不出来尖端光刻机，这个梦想只能停留在幻想之中。

    在机械、通讯设备、企业金融、航空航天等核心领域，不得不大量采用国外的芯片。

    而众所周知，芯片是可以开后门的，而且是非常容易的事情。

    最危险的就是只要不拔电池，通过芯片后门你所有的动作、所有的信息别人都可以轻易获取，而且你还不知道。

    举个最简单的例子，智能手机一般都装有GPS芯片，即使关机了也可以定位。

    张海春博士看着电脑上运行的数据，膀激动的说：“好啊…好！实在是太好了！”

    陈序面带笑容说：“还是差了点！不过差不多到极限了，想达到10nm的制备工艺，只能从硬件上想办法了。”

    “已经非常厉害了……”

    现场工程师个个都以崇拜的眼神看着陈序。

    很快SMEE的董事长孙立群，以及鲁嘉荣博士都是闻讯赶来，看到运行数据都是兴奋的恨不得手舞足蹈。

    “实在是太好了！”孙立群说着朝实验室大门口跑去了，看样子是去打电话给上级部门报喜了。

    鲁嘉荣博士激动到眼泪都下来了，紧紧搂着陈序的肩膀，看着模拟机上高速运转的工件台，语无伦次道：“陈工……你…好啊……”